ストップランプの故障が生産効率を損なうのを防ごう 半導体製造工場において、ランプが故障するというのは単なる迷惑事ではありません。それはまさに悪夢です。 重負荷の下で石英管が壊れると、単に電球が使えなくなるだけではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハに直接降り注ぎます。これは...

ウェーハの硬化処理を最大限に活用するために 正直に言って、スマートなファブでエネルギーが無駄になるというのは、単純にお金の無駄に過ぎません。ウェーハを硬化処理する際には、機械の筐体が巨大なヒーターのように機能してしまってはいけません。熱エネルギーは必ず基板に届く必要があります。 だからこそ、反射器...

ファブの現場では、「接着剤の硬化処理」というのは、単なる加熱処理とは異なります。これは温度管理が非常に重要なプロセスであり、歩留まりにも大きな影響を与えます。フォトレジストのソフトベイクやハードベイクにおいても同様で、温度は必ず一定でなければなりません。また、チップを基板に固定するための接着剤につ...