ウェーハの硬化処理を最大限に活用するために
正直に言って、スマートなファブでエネルギーが無駄になるというのは、単純にお金の無駄に過ぎません。ウェーハを硬化処理する際には、機械の筐体が巨大なヒーターのように機能してしまってはいけません。熱エネルギーは必ず基板に届く必要があります。
だからこそ、反射器はランプ全体の中で最も重要な部品なのです。
熱エネルギーの無駄遣いをやめましょう
精密な反射器を使わずに硬化ランプを使用すると、出力の50％以上が無駄になってしまいます。これは明らかな無駄です。
私たちは、その赤外線放射をウェーハ表面に直接当てるための反射器を製造しています。焦点を正確に合わせることで、熱が均一に広がります。不均一な加熱やシリコンの変形などの心配もありません。ただ単純に効果的に機能します。
ギアと技術
使用する波長に応じて、高純度のアルミニウムや金メッキされた基材を使用します。長波長のIRには金が適していますが、短波長の場合は通常、研磨済みのアルミニウムが適しています。
また、インダストリー4.0の環境で使用する場合は、モジュール式のハウジングに組み込むことができます。これにより、生産ラインを拡張する際に簡単に交換が可能です。
さらに、これらのシステムをPLCに直接接続することもできます。電源からの消費電力だけで判断するのではなく、デジタルセンサーを使って、実際にウェーハにどれだけの熱が加わっているかをリアルタイムで把握できます。
注意点とその対処法
問題は、高反射率の表面は繊細であるということです。ファブ内に少しでもほこりや化学物質があれば、効率が急激に低下してしまいます。
そのため、定期的に清掃を行うか、鏡面を保護するために密閉型のケースを使用する必要があります。表面が汚れると、処理時間が長くなってしまいます。なぜかというと、失われたエネルギーを補うために、ランプをより高温で動作させなければならないからです。
これにより、電源装置に過度な負荷がかかり、ランプの寿命が短くなってしまいます。常に清潔にしておけば、ランプは正常に動作し続けます。