真空対応の赤外線ヒーター

なぜ真空状態での赤外線加熱が最適なのか 真空状態ではウェーハを清潔に保つのは非常に難しい。わずかな汚染でも、生産効率が低下してしまいます。そのため、私たちは古くて非効率的な抵抗加熱器を使うのをやめ、真空環境に適した赤外線加熱器を採用しています。 これはより効率的な方法であり、大量のエネルギーの無駄...