空気を加熱するのをやめよう：クリーンルームをより効率的に運営する方法 半導体製造工場で炭素中性の目標を達成したいのであれば、古くから使われてきた対流式の加熱装置に頼るのはやめなければなりません。考えてみてください。そうした装置は、ウェハを適切な温度にするために、部屋全体、つまり空気や壁など、あらゆ...

スマートファブで適切な温度管理を行うには もし、インダストリー4.0対応のスマートファブを構築しているのであれば、おそらく、温度管理がかなり難しい問題だと気づいているはずです。従来の対流式オーブンでは、加熱に時間がかかりすぎます。また、サイズが大きく、加熱にも時間がかかり、デジタル化された生産ライ...