CVD 化学気相成長 ヒーター

ファブフロアでは、5nmノードは温度変動の余地を与えません。CVDチャンバーのホットスポットが一つあるだけで、厚さの不均一、化学量論の変動、ツールから出る前に廃棄されるウエハーを見つめることになります。そのヒーターは、レシピが要求する場所に正確に配置され、繰り返し稼働しなければなりません。 技術的...