半導体ヒーター用熱電対

赤外線半導体加熱における適切な温度制御の実現 もし、半導体製造プロセスの環境負荷を削減したいのであれば、古くから使われてきた抵抗式のオーブンに頼るのはやめなければなりません。そうしたオーブンはエネルギーを多く消費します。代わりに赤外線ヒーターを使えば、部屋全体を温めるのではなく、ウェーハ自体を直接...