クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター
空気を加熱するのをやめよう：クリーンルームをより効率的に運営する方法
半導体製造工場で炭素中性の目標を達成したいのであれば、古くから使われてきた対流式の加熱装置に頼るのはやめなければなりません。考えてみてください。そうした装置は、ウェハを適切な温度にするために、部屋全体、つまり空気や壁など、あらゆ...
ファブオーブン用クォーツヒーターチューブ
製造現場において、フォトレジストのベイク処理は単なるウォームアップではありません。それは工程上の重要なステップです。
ソフトベイクやハードベイクの温度を1℃でも変えると、CDのずれやサイドウォール角度の変化、欠陥密度の増加が起こります。オーブン内の石英ヒーターチューブは、再現性の高い加熱を実現しな...