金製反射板付き赤外線ランプ
なぜゴールド反射体付きのIR装置が半導体乾燥に適しているのか
今、製造現場では「グリーン」で鉛を含まない製品が求められています。しかし、依然として古式の対流式オーブンを使っている場合、それは負け戦に等しいです。そのような強制送風式のシステムは問題だらけで、粒子を飛ばして部品を汚染したり、エネルギー...
赤外線ランプ用アルミニウム反射板
IRランプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。
高負荷の半導体製造環境において、IRランプが故障すると、それは単なる生産停止の問題に留まりません。まさに悪夢です。
石英管が破裂すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントが直接ウェーハの上に降り注ぎます。めちゃくちゃな状態になり、費用も莫大にか...