IRランプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。
高負荷の半導体製造環境において、IRランプが故障すると、それは単なる生産停止の問題に留まりません。まさに悪夢です。
石英管が破裂すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントが直接ウェーハの上に降り注ぎます。めちゃくちゃな状態になり、費用も莫大にかかります。だからこそ、私たちはそのようなリスクが発生する前に、加熱システムを工夫して対処しています。
鍵は反射器にあります。
私たちは高純度のアルミニウムを使用しています。これにより、IR放射線を再びウェーハの方向に反射させることができ、電力代の増加を防げます。
しかし何よりも重要なのは、反射器がシールドとして機能する点です。ランプを精密に加工されたアルミニウム製のケースに収めることで、管が破裂した際にもほとんどの破片が内部に留まります。これにより、均一な加熱が実現し、安全も確保されます。
熱の管理
高出力のランプは非常に高温になります。冷却システムが不十分だと、石英管が熱衝撃を受けて破損してしまいます。これは当然のことです。
これに対処するため、私たちはこのような繰り返しの負荷に耐えられる強化された石英ガラスを使用しています。また、取り付け精度にも細心の注意を払っています。もし管が反射器に触れてしまうと、ホットスポットが発生し、それがランプの早期故障の原因となります。
現実を直視しましょう：完璧な安全装置なんて存在しません。
優れた反射器があっても、しっかりとしたクリーンルームの管理が必要です。ランプの使用時間も常に監視する必要があります。
管が老朽化すると、フィラメントが薄くなります。その時、破裂のリスクが急上昇します。通常、ワット数に応じて、2,000～5,000時間ごとに交換することを推奨しています。運転中に突然故障が起きるよりも、定期的に交換する方がずっと簡単です。
あと、ファウルトセラーも正しく設定しておきましょう。電圧の急上昇は管が破裂する最も速い原因です。そんなことに時間を割く余裕はありません。