熱の問題を解決する：なぜオゾンフリーの赤外線ランプが最適なのか
半導体製造工場において、適切な温度管理を行うのは大変です。通常、目標とする温度を達成するか、環境上の問題に対処するかの間で悩まされます。私たちは、オゾンフリーの赤外線ランプを使用することで、この問題を解決しようとしました。これにより、面倒な問題を抱えずに必要な熱を得ることができます。
「標準的」な光の問題点
実は、ほとんどの短波長赤外線ランプは、185nmから254nmの範囲の放射線を放出します。これは単なる技術的な詳細に思えますが、実際には問題があります。この波長の光によって、空気中の酸素がオゾンに変わってしまいます。
オゾンは有害な物質です。温室効果ガスであり、クリーンルーム内の機器を損傷させます。理想的ではありません。
これを防ぐために、特殊な石英製のケースや内部コーティングを使用します。これらはフィルターの役割を果たし、問題のある波長の光を遮断します。そうすれば、ウェーハを加熱や硬化させるのに必要な熱エネルギーはそのまま得られますが、オゾンの発生は防げます。
力率、速度、そして「熱過多」の問題
私たちは、短い管に多くのワット数を供給することを好みます。なぜかというと、高密度の赤外線アレイは非常に速く加熱されるからです。つまり、1枚のウェーハあたりに必要な電力が少なくなり、全員にとってメリットがあります。また、迅速な応答速度を持つように設計されているので、意図しなくても設定温度を超えることもありません。
しかし、問題もあります。
大量のエネルギーを狭い空間に込めると、筐体に負担がかかります。冷却ファンやヒートシンクが十分でなければ、問題が発生します。実際、空気の流れが悪いと、ランプの寿命が大幅に短くなります。適切な冷却が不可欠です。そうでなければ、無駄な出費になってしまいます。
これが工場全体にもたらす影響
最も良い点は、工場全体に与える影響です。
オゾンフリーにすることで、重くて使いづらい排気処理システムを取り除くことができます。これにより、HVACの負担が大幅に軽減され、建物全体のエネルギー消費量も減少します。
簡単な交換だけで、汚染を引き起こす古い機器を取り除き、新しい装置を導入するだけです。そうすれば、必要な生産性を維持しつつ、二酸化炭素の排出量を大幅に削減できます。