ファブオーブン用クォーツヒーターチューブ

製造現場において、フォトレジストのベイク処理は単なるウォームアップではありません。それは工程上の重要なステップです。 ソフトベイクやハードベイクの温度を1℃でも変えると、CDのずれやサイドウォール角度の変化、欠陥密度の増加が起こります。オーブン内の石英ヒーターチューブは、再現性の高い加熱を実現しな...