MEMSウェーハの乾燥における炭素排出量の削減 私たちは、MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させる際に、古くて非効率的な対流式オーブンの代わりに赤外線加熱ランプを使用しています。目的は単純です――ウェーハ上の水分をより迅速に除去し、無駄な電力消費を防ぐのです。 もしファブで働いたことがあるなら、ご存...

はじめに 私たちがこの赤外線ヒーターを開発したのは、工場内での使用を念頭に置いています。なぜなら、エネルギー消費量をチェックする際には、無駄に空間全体に熱が広がるのではなく、目的の場所だけに熱を届けることが重要だからです。 従来の対流式加熱では、空気全体が温められてしまい、結果としてコストが無駄に...

ウェーハが乾燥ステーションから出てくる様子を見てみましょう。もし乾燥ランプの性能が低下していると、水分が残ったままになり、その結果フォトレジストが剥がれ始めます。そうなると、バッチごとの歩留まりが悪化します。私たちが設計した太陽電池用ウェーハ乾燥ランプは、このような問題を防ぐために作られています。...