Kijk hoe een wafer van de natte zone wordt gehaald. Als de droogingslamp niet goed werkt, blijft er vocht achter, waardoor de fotoresist begint los te komen. Hierdoor neemt de opbrengst per batch af. We hebben onze droogingslamp voor zonnecelwafern ontworpen om dit te voorkomen.
Wat belangrijk is bij deze lamp: deze maakt gebruik van NIR-emitters voor snelle, effectieve verwarming. Hierdoor wordt de wafer droog zonder dat het substraat beschadigt raakt. De thermische uniformiteit over de hele wafer blijft binnen ±0,1°C, zodat de parameters voor het drogen constant blijven, lopende lot na lot. De lamp kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100, zonder dat er extra deeltjes worden gegenereerd. Hierdoor blijft het aantal defecten op een acceptabel niveau. Je hebt controle over de instellingen, betrouwbare werking en een stabiele prestatie, zelfs na 5.000 uur gebruik.
In de productielijn is de thermische belasting hoog. Deze lamp droogt de wafer snel, terwijl dunne lagen en passivatielagen behouden blijven. Het voordeel is dat de cyclustijd korter is, de energieverbruik lager en er minder herwerk nodig is. Ook bij het verpakken zorgt deze lamp voor precisie, waardoor er minder fouten optreden. De opbrengst blijft voorspelbaar, en de procesparameters veranderen niet alleen door wisselingen in het personeel.
Een paar praktische tips: de lamp heeft een speciale, schone stroomvoorziening nodig, evenals goed thermisch beheer rondom de lamp. De lamp presteert het beste in gecontroleerde omstandigheden – als de luchtvochtigheid boven 70% RH ligt, neemt de droogtijd toe. Controleer dus de aansluitingstypen en de spanning voordat je de lamp bestelt.