Устранение проблем, связанных с тепловыми нагрузками: почему использование инфракрасных ламп без озона – это разумный выбор
Правильная настройка температурного режима в производственных помещениях для производства полупроводников представляет собой сложную задачу. Обычно приходится выбирать между достижением желаемой температуры и решением проблем, связанных с окружающей средой. Мы решили решить эту проблему с помощью инфракрасных ламп без озона. Это более простой способ получения необходимого количества тепла без всех связанных с этим проблем.
Проблемы с «стандартным» светом
Большинство коротковолновых инфракрасных ламп излучают свет в диапазоне от 185 до 254 нанометров. Это может показаться скучной технической деталью, но на самом деле это серьезная проблема. Такой свет превращает кислород в воздухе в озон. Озон – это вредное вещество; он является парниковым газом и разрушает оборудование, используемое в чистых комнатах. Это явно не идеально.
Чтобы избежать этой проблемы, мы используем специализированные кварцевые корпуса и внутренние покрытия. Они выполняют функцию фильтра, блокируя эти нежелательные длины волн. Вы все равно получаете необходимую тепловую энергию для обработки пластин, но озон не успевает возникнуть.
Мощность, скорость и проблемы, связанные с тепловыми нагрузками
Мы стремимся использовать максимально высокую мощность в этих устройствах. Почему? Потому что инфракрасные лампы с высокой плотностью излучения быстро нагреваются. Это позволяет сократить расход энергии на обработку каждой пластины. Но есть и недостаток: когда столько энергии сосредотачивается в небольшом пространстве, корпус устройства может повредиться. Если вентиляторы или радиаторы охлаждения не справляются со своей задачей, возникают проблемы. Я видел, как это происходит: если поток воздуха слабый, устройство перегревается, а срок службы лампы снижается. Необходимо правильно организовать систему охлаждения, иначе это будет просто пустая трата денег.
Как это влияет на всю фабрику
Самое лучшее – это то, что происходит с остальной частью фабрики. Как только вы переходите на использование ламп без озона, можно удалить тяжелые и громоздкие устройства для очистки воздуха. Это существенно снижает нагрузку на систему вентиляции и охлаждения, а также снижает общий расход энергии в здании. Это простая замена: удаляется старое оборудование, устанавливается новое, и объем производства остается прежним, но уровень выбросов углерода снижается значительно.