Giải quyết vấn đề nhiệt độ: Tại sao việc sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone lại là giải pháp tốt nhất?
Việc kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác trong các nhà máy sản xuất bán dẫn thực sự rất khó khăn. Thông thường, người ta buộc phải chọn giữa việc đạt được mục tiêu nhiệt độ mong muốn hoặc phải đối mặt với những vấn đề liên quan đến môi trường. Chúng tôi quyết định giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone. Đây là cách đơn giản hơn để tạo ra nhiệt độ cần thiết mà không gây ra những vấn đề phức tạp.
Vấn đề với ánh sáng “tiêu chuẩn”
Điều đáng lo ngại là hầu hết các đèn hồng ngoại có bước sóng ngắn đều phát ra bức xạ trong khoảng từ 185nm đến 254nm. Có vẻ như đó chỉ là một chi tiết kỹ thuật nhỏ thôi, nhưng thực ra đó lại là một vấn đề nghiêm trọng. Ánh sáng này khiến oxy trong không khí biến thành ozone.
Ozone rất nguy hiểm. Đây là loại khí nhà kính, và nó có thể phá hủy các thiết bị trong phòng sạch. Điều này rõ ràng không tốt chút nào.
Để tránh điều này, chúng tôi sử dụng vỏ bằng thạch anh và lớp phủ bên trong. Những thứ này hoạt động như một bộ lọc, ngăn chặn những bước sóng gây hại. Bạn vẫn có thể nhận được lượng năng lượng cần thiết để nung nóng các wafer, nhưng ozone sẽ không thể được tạo ra nữa.
Năng lượng, tốc độ và vấn đề nhiệt độ
Chúng tôi thích sử dụng nhiều công suất vào các ống hồng ngoại. Tại sao ư? Bởi vì các mảng hồng ngoại có mật độ cao sẽ nóng lên rất nhanh. Điều này có nghĩa là bạn sẽ tiêu thụ ít kWh hơn cho mỗi wafer, điều này rất tốt cho tất cả mọi người. Chúng tôi cũng thiết kế các hệ thống này sao cho có thể phản ứng nhanh, nhằm tránh việc vượt quá mức nhiệt độ mong muốn.
Nhưng cũng có một trở ngại. Khi bạn chứa quá nhiều năng lượng trong một không gian nhỏ, thì bo mạch của thiết bị sẽ bị tổn thương. Nếu quạt làm mát hoặc bộ tản nhiệt không đủ hiệu quả, bạn sẽ gặp vấn đề. Tôi đã từng chứng kiến điều này xảy ra: nếu dòng khí yếu, thiết bị sẽ quá nóng, và tuổi thọ của đèn sẽ giảm drastically. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát hoạt động tốt, nếu không bạn sẽ chỉ lãng phí tiền mà thôi.
Lợi ích thực tế của việc sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone
Điều tốt nhất là những gì xảy ra với phần còn lại của nhà máy. Khi bạn sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone, bạn có thể loại bỏ những hệ thống xử lý khí thải cồng kềnh và phức tạp. Điều này giúp giảm bớt gánh nặng cho hệ thống điều hòa không khí, từ đó giảm tổng lượng năng lượng tiêu thụ của toàn bộ tòa nhà.
Đó là một giải pháp đơn giản. Bạn chỉ cần thay thế những thiết bị gây ô nhiễm cũ bằng những thiết bị mới, và vẫn giữ được mức năng suất mong muốn – nhưng với lượng khí thải thấp hơn nhiều.