清除热量：为何选择无臭氧红外灯更为明智
在半导体制造厂中，要精确控制温度其实是一件很麻烦的事。通常，人们不得不在达到目标温度与避免环境问题之间做出抉择。我们决定用无臭氧红外灯来解决这个问题。这样就能更简单地获得所需的热量，同时避免各种麻烦。
“标准”光源的弊端
大多数短波红外灯发出的辐射波长在185纳米到254纳米之间。这听起来可能只是个技术细节，但实际上却是个大问题——这类光线会将空气中的氧气转化为臭氧。
臭氧是一种有害物质，属于温室气体，还会损坏洁净室内的设备。显然，这不是什么好事。
为了解决这个问题，我们使用了特殊的石英外壳和内部涂层。这些组件可以过滤掉那些有害的波长。这样一来，虽然仍能获得足够的热量来加热或固化晶圆，但臭氧则不会产生。
功率、速度以及“热量累积”的问题
我们喜欢在短短的管子里注入大量能量。因为高密度的红外灯能够迅速升温。这样一来，每块晶圆所需的能耗就会减少，这对所有人来说都是好处。此外，我们还会让这些系统具备快速响应能力，从而避免温度超出设定值的情况。
不过，这样做也有缺点。当如此多的能量被集中到一个小空间里时，设备的散热系统就会承受巨大压力。如果散热风扇或散热片无法胜任这项任务，那么设备就容易出现故障。我见过这种情况：如果气流不足，设备就会过热，进而缩短灯的使用寿命。因此，必须确保良好的散热效果，否则只会白白浪费金钱。
这对整个工厂的实际好处
最棒的是，采用无臭氧红外灯后，就无需再使用那些笨重且效率低下的排气处理系统了。这样一来， HVAC系统的负担就会大大减轻，整栋建筑的能耗也会降低。
这其实是一种简单的替代方案：去掉那些有害的旧设备，换成这种无臭氧红外灯，如此一来，生产效率就能保持不变，而且碳足迹也会大幅减少。