클래스 100급 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100급 환경에서 웨이퍼를 가열할 때는 오차의 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 이물질이나 가스만 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 일반적인 가열 요소들은 이러한 조건에 적합하지 않습니다. 안정적인 상태를 유지해야 할 때 오히려 미세한 입자들이 발생합니다.
그래서 우리는 적외선 램프에 고순도 합성 석영을 사용합니다. 이 방법을 통해 걱정을 줄일 수 있습니다.
석영이 중요한 이유
우리는 거의 불순물이 없는 융합 실리카를 사용합니다. 왜냐하면 고온에서는 저렴한 재료들이 공기와 반응하기 시작하기 때문입니다. 이 석영 코팅은 마치 밀폐된 구조처럼 작용하여 할로겐 가스가 밖으로 빠져나가는 것을 막아줍니다. 그 결과, 공기 질에 영향을 주지 않는 안정적인 광원을 얻을 수 있습니다. 간단하죠.
적절한 열을 공급하는 방법
이 램프들은 단파 복사를 사용합니다. 웨이퍼 주변의 공기를 가열하는 데 시간을 낭비하지 않고, 에너지가 직접 웨이퍼 표면에 도달합니다. 매우 빠릅니다. 거의 즉시 목표 온도에 도달할 수 있습니다. 다만 주의해야 할 점은 에너지 밀도가 매우 높다는 것입니다. 쿨링 시스템이 충분히 효과적인지 확인해야 하며, 그렇지 않으면 장시간 작동할 경우 램프가 과열될 위험이 있습니다.
설정 방법
저희는 커넥터를 표준형으로 설계했으므로, 기존 장비에 쉽게 연결할 수 있습니다. 또한 석영 표면을 거울처럼 매끄럽게 가공했습니다. 이는 단순히 외관상의 이유가 아니라, 표면에 이물질이 달라붙는 것을 방지하기 위함입니다. 적절한 PID 컨트롤러와 함께 사용하면 웨이퍼 전체에 균일한 열이 공급됩니다.
주의사항
단점이 있다면, 고순도 석영은 깨지기 쉽다는 것입니다. 일반 유리보다는 열충격에 잘 견디지만, 충격을 받으면 쉽게 깨질 수 있습니다. 설치할 때 조심해야 합니다. 또한 항상 장갑을 착용해야 합니다. 피부에서 나오는 기름이 석영 표면에 영향을 주어 램프가 빨리 손상될 수 있습니다.