왜 스마트 팹에는 적외선 가열이 필요한가?
스마트 팹을 계획한다면, 이제는 구식의 대류식 가열 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 속도가 너무 느리죠. 게다가 클린룸 내에서 공기가 움직이는 것은 문제를 유발할 수 있습니다. 웨이퍼 위에 먼지나 입자들이 날아다니는 것을 원하지 않겠죠.
그래서 우리는 단파 적외선을 사용합니다. 공기를 가열하는 대신, 에너지를 직접 목표물에 전달합니다. 바람도 없고, 회오리도 없으며, 열이 필요한 곳에만 정확하게 전달됩니다.
정확한 온도 조절
디지털 생산에서는 데이터가 매우 중요합니다. 적외선을 사용하면, 거대한 오븐이 따뜻해지기까지 한 시간을 기다릴 필요가 없습니다. 이 램프들은 몇 초 만에 최대 출력에 도달합니다.
이러한 램프들을 PID 제어 시스템에 연결하면, 기판 전체에 균일한 온도가 유지됩니다. 폐기율이 줄어드는 것을 보면 정말 다행입니다.
클린룸에 적합한 설계
팹에서는 “충분히 좋은” 하드웨어조차도 재앙이 될 수 있습니다. 아주 작은 양의 코팅 조각이나 가스만 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다.
그래서 우리는 고순도 석영과 내구성이 뛰어난 코팅을 사용합니다. 이러한 부품들은 매우 작아서, 로봇 팔과 운송 철로 사이의 좁은 공간에도 쉽게 설치할 수 있습니다.
단점도 있습니다
문제는, 작은 공간에 많은 에너지를 집중시키면 온도가 매우 높아진다는 것입니다. 고출력의 램프를 사용할 경우, 열 배출을 처리할 수 있는 HVAC 시스템이 반드시 필요합니다.
결국, 이는 단순히 히터를 교체하는 문제가 아닙니다. 열도 다른 디지털 변수와 마찬가지로 처리해야 합니다. 센서가 보내는 정보를 바탕으로 실시간으로 제어하고 조정할 수 있습니다. 그렇게 하면 전체 생산 과정이 더 효율적으로 진행됩니다.