반제품의 탄소 배출량 줄이기: 왜 진공 적외선이 효과적인가? 솔직히 말해서, 기존의 저항식 가열 장치들은 에너지를 엄청나게 많이 소비합니다. 웨이퍼를 적절한 온도로 만들기 위해 내부의 벽까지 모두 가열해야 하죠. 마치 커피 한 잔을 데우기 위해 집 전체를 데우는 것과 같습니다. 이는 낭비적인 방식이며, ‘친환경 공장’에 대한 규제가 강화됨에 따라 점점 더 문제가 되고 있습니다. 이때 바로 진공 적외선이 유용해집니다. 방 전체를 가열하는 대신, 웨이퍼만을 직접 가열할 수 있습니다. 물리적 원리 진공 상태에서는 대류가 일어나지 않습니다. 따라서 오직 복사열만이 작용합니다. 우리는 실리콘이나 갈륨 나이트라이드가 흡수하기 좋은 파장으로 빛을 조절합니다. 에너지가 직접 기판으로 들어가므로, chamber의 벽을 가열하는 데 드는 에너지가 줄어듭니다. 그래서 전력 소비도 크게 줄어듭니다. 게다가 속도도 매우 빠릅니다. 가동 시간도 단축되고, 처리 주기도 짧아집니다. 그 결과, 한 번의 처리 과정에서 필요한 전력량도 훨씬 줄어듭니다. 당연한 결과입니다. 하드웨어 측면 이러한 램프들은 고순도의 석영과 텅스텐 필라멘트로 만들어집니다. 하지만 진공 상태에서 작동하기 때문에 밀폐성을 매우 중요하게 생각해야 합니다. 만약 가스가 새어 나오면 오염이 발생할 수 있습니다. 아무도 손상된 웨이퍼를 원하지 않습니다. 하지만 한 가지 단점이 있습니다. 작은 공간에 많은 에너지를 담아야 하므로, 전원 공급 장치에 상당한 부담이 가됩니다. 만약 최대 출력으로 작동시킨다면, 쿨링 시스템이 제대로 작동해야 합니다. 그렇지 않으면 램프가 손상될 수 있습니다. 결론 적외선을 사용하면, 작업이 끝난 후에도 계속 열을 발산하는 거대한 가열 요소에 의존할 필요가 없습니다. 이제는 실제로 가열될 때만 많은 에너지가 소모됩니다. 많은 경우, 이 방식은 기존의 가열 방식을 대체하기에 충분합니다. 처리 속도가 빨라지고, 탄소 배출량도 줄어듭니다. 다만 주의할 점은, 진공 펌프가 충분한 압력을 견딜 수 있는지 반드시 확인해야 한다는 것입니다. 그렇지 않으면 밀폐성이 손상될 수 있습니다.