무연 반도체를 위한 적절한 적외선 경화 방식 전 세계적인 청정실 표준을 충족시키고 싶다면, 적외선을 이용한 경화가 가장 좋은 방법입니다. 이 방식은 깨끗하며, 무연이며, 환경에도 친화적입니다. 대류 오븐을 생각해보세요. 부품을 따뜻하게 하기 위해 방 안의 공기 전체를 가열해야 합니다. 이는 낭비일 뿐입니다. 반면 적외선은 에너지를 직접 기판에 전달합니다. 화학 용매도 필요 없으며, 에너지 낭비도 없습니다. 게다가 설치 공간도 훨씬 작습니다. 왜 우리는 테플론 절연선을 사용하는가? 문제는 이러한 히터들이 매우 뜨거워진다는 것입니다. 일반적인 PVC나 실리콘 절연선을 사용하면 절연층이 녹거나 가스가 발생할 수 있습니다. 청정실에서는 그런 것들이 웨이퍼를 오염시킬 수 있으므로 문제가 됩니다. 그래서 우리는 테플론(PTFE) 절연선을 사용합니다. 이 절연선은 열 스트레스에도 견딜 수 있으며, 화학 물질에도 강합니다. 히터가 최대 온도에 도달했을 때 단락이 발생하지 않도록 하는 유일한 방법입니다. 적외선의 마법 진짜 비결은 램프의 파장을 코팅물의 흡수 대역과 맞추는 것입니다. 결국, 기계의 금속 프레임을 가열하는 데 전력을 낭비하지 않습니다. 부품 자체를 직접 가열하는 것이죠. 속도도 매우 빠릅니다. 몇 시간이 걸리던 경화 과정이 몇 분으로 줄어듭니다. 이로 인해 작업 효율성이 크게 향상됩니다. 단점 및 주의사항 물론 완벽한 것은 없습니다. 고밀도 적외선 가열은 전력 공급 장치에 큰 부담을 줍니다. 테플론은 열을 견딜 수 있지만, 높은 전류로 인해 문제가 생길 수 있습니다. 차단기나 컨택터의 크기가 적절하지 않으면 문제가 발생할 수 있습니다. 또한, 선의 굵기에도 주의해야 합니다. 선이 너무 얇으면 전압이 떨어져 웨이퍼 전체에 고르게 열이 전달되지 않습니다. 그 결과 일부 부분은 다른 부분보다 더 뜨거워집니다. 문제를 방지하기 위해, 3개월마다 단자 연결 부분을 점검하는 것이 좋습니다. 열로 인해 금속이 팽창하고 수축하면서 단자가 느슨해질 수 있습니다. 지금 단단히 조여두면 나중에 큰 문제를 피할 수 있습니다.