Warum Ihre intelligente Fertigungsanlage Infrarotheizung benötigt
Wenn Sie eine intelligente Fertigungsanlage planen, haben Sie vermutlich bereits erkannt, dass herkömmliche Konvektionsheizungen nicht mehr ausreichen. Sie sind einfach zu langsam. Zudem führt die Bewegung der Luft in einem Reinraum zu Problemen – man möchte schließlich nicht, dass Partikel über die Wafer wandern.
Deshalb verwenden wir Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Anstelle der Erwärmung der Luft werden die Energiestrahlen direkt auf das Ziel gerichtet. Kein Wind, keine Strömungen – nur Wärme genau dort, wo sie benötigt wird.
Die Temperatur genau kontrollieren
Bei der digitalen Produktion geht es um den Datenkreislauf. Mit Infrarotheizung muss man nicht stundenlang darauf warten, bis ein großer Ofen warm wird. Diese Lampen erreichen ihre optimale Leistung bereits in Sekundenschnelle.
Wir anschließen diese Lampen direkt an die PID-Steuerungssysteme an. Das Ergebnis: Ein gleichmäßiges Wärmeprofil über die gesamte Oberfläche des Substrats. Es ist eine große Erleichterung, wenn die Menge an Ausschussprodukten endlich abnimmt.
Für den Einsatz in Reinräumen
In einer Fertigungsanlage ist „gut genug“-Hardware ein Desaster. Schon ein kleiner Teil des Beschichtungsmaterials oder geringe Mengen an Gasen können dazu führen, dass ganze Chargen ruiniert werden.
Wir verwenden daher hochreinen Quarz sowie Beschichtungen, die auch unter starken Belastungen nicht versagen. Zudem sind diese Komponenten äußerst kompakt – man kann sie problemlos in die kleinen Zwischenräume zwischen den Roboterarmen und Transportschienen platzieren, ohne Probleme zu bekommen.
Der Haken (denn es gibt immer einen)
Das Problem ist: Wenn man so viel Energie in einen kleinen Raum bringt, wird es sehr heiß. Sehr heiß sogar.
Wenn man eine Hochleistungs-Sendeanlage verwendet, aber nicht auf die Kühlung der Elektronik achtet, können die Sensoren beschädigt werden. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem – man muss sicherstellen, dass die Lüftungsanlage der Anlage mit dem entstehenden Wärmestrom zurechtkommt.
Letztendlich geht es hier nicht nur darum, einen Heizer auszutauschen. Es geht vielmehr darum, die Wärme wie jede andere digitale Größe zu behandeln. So kann man in Echtzeit steuern und sofort anpassen – basierend auf den Informationen der Sensoren. Dadurch läuft die gesamte Produktionslinie effizienter.