Die Beseitigung des Problems mit der Hitze: Warum ozeongefreies Infrarot sinnvoll ist
Es ist nicht einfach, die richtige Temperatur im Halbleiterwerk zu erreichen. Meist muss man sich entscheiden zwischen dem Erreichen der gewünschten Temperaturen und den damit verbundenen Umweltschäden. Wir haben beschlossen, dieses Problem mit ozeongefreien Infrarotlampen zu lösen. Das ist eine einfachere Methode, um die benötigte Wärme zu erzeugen – ohne all die zusätzlichen Probleme.
Das Problem mit „Standard“-Lampen
Die meisten Kurzwellen-Infrarotlampen emittieren Strahlung im Bereich von 185 nm bis 254 nm. Das mag wie ein langweiliger technischer Detail erscheinen, doch es stellt tatsächlich ein Problem dar. Dieses Licht wandelt das Sauerstoff in der Luft in Ozon um. Ozon ist schädlich – es handelt sich dabei um ein Treibhausgas, das die Ausrüstung in den Reinräumen zerstört. Das ist sicherlich nicht ideal.
Um dies zu verhindern, verwenden wir spezielle Quarzkapseln sowie interne Beschichtungen. Diese fungieren als Filter und blockieren die problematischen Wellenlängen. Man erhält weiterhin die benötigte Wärmeenergie, doch das Ozon wird bereits vorher vermieden.
Leistung, Geschwindigkeit und das Problem der Hitze
Wir möchten möglichst viel Leistung in diese Lampen stecken. Warum? Weil hochdichte Infrarotarrangements sehr schnell erwärmen. Das bedeutet, dass weniger Kilowattstunden pro Wafer benötigt werden – was für alle vorteilhaft ist. Zudem sind diese Systeme so konzipiert, dass sie schnell reagieren, sodass man nicht versehentlich die eingestellten Temperaturen überschreitet.
Aber es gibt auch Nachteile. Wenn man so viel Energie in einen kleinen Raum packt, wird das Gehäuse stark belastet. Wenn die Kühlfans oder Kühlkörper nicht ausreichen, entstehen Probleme. Ich habe schon gesehen, wie das passiert: Wenn die Luftzufuhr schwach ist, überhitzt das Gehäuse – dadurch verkürzt sich die Lebensdauer der Lampe. Man muss also eine gute Kühlung sicherstellen, sonst verschwendet man nur Geld.
Was das eigentlich für Ihre Fabrik bedeutet
Das Beste daran ist, was mit dem Rest der Fabrik passiert. Sobald man auf ozeongefreie Lampen umsteigt, kann man diese schweren, unhandlichen Abschaltsysteme abschaffen. Dadurch entlastet sich das HVAC-System erheblich und der gesamte Energieverbrauch des Gebäudes sinkt. Es handelt sich dabei um einen einfachen Austausch: Man ersetzt die schädlichen alten Geräte durch diese neuen – und behält dabei die gleiche Produktivität, nur mit einem viel geringeren Kohlenstofffußabdruck.