In der FO-WLP-Technologie ist die Backschritt-Phase der Punkt, an dem die Qualität der Produkte nach und nach nachlässt. Eine zu sanfte Beheizung – bei einer Temperaturdifferenz von 2°C – beeinträchtigt das Profil des Fotoleitmittels. Wenn man hingegen eine starke Beheizung verwendet, entstehen Lücken im Material sowie Verformungen. Man muss also dafür sorgen, dass die Temperatur über der gesamten Waferfläche gleichmäßig ist – während die Zeit weiterhin läuft.
Was technisch wichtig ist:
Wir haben Heizer entwickelt, die für die Backöfen und Heizelemente zwischen der Lithografie- und Formgebungsschicht verwendet werden können. Kurzwell-Halogenemitter sorgen für eine schnelle Reaktion – dadurch bleibt die Temperatur über der aktiven Fläche bei ±0,1°C konstant. Der Heizerkörper besteht aus Quarz und hochreinem Keramikmaterial; dadurch bleibt die Teilchengenerierung in sauberen Räumen der Klasse 1–100 nahe bei Null. Die Temperaturgenauigkeit beträgt ±0,2°C pro Einsatz – dadurch bleiben die Parameter der sanften und starken Beheizung stets within den Vorgaben. Die Steuerung erfolgt über PID-Regelung; außerdem sind SECS/GEM-Funktionen vorhanden, sodass die Einstellungen, die Ansteigegeschwindigkeiten sowie die Einbrennzeiten genau kontrolliert werden können.
Warum das bei FO-WLP funktioniert:
Bei FO-WLP werden heterogene Komponenten in einem Kunststoffgehäuse zusammengefasst, anschließend werden die Eingangs-/Ausgangsanbindungen neu verteilt. Der thermische Budget ist dabei sehr begrenzt – es muss gelingen, die Aktivierungsphase des Fotoleitmittels zu erreichen, ohne dass es zu Migrationen des Kupfers oder zu Spannungen durch unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten kommt. Der Heizer sorgt dafür, dass die Temperaturkurve präzise eingehalten wird – dadurch verbessert sich die Kontrolle der wichtigen Abmessungen und das Risiko von Fehlermeldungen nimmt ab. Die hohe Temperaturgleichmäßigkeit reduziert außerdem die Anzahl der Ausschussprodukte. Der Energieverbrauch sinkt, da der Emittent nur bei Bedarf erhitzt wird – mit minimalem Wärmemassenaufbau. Der Heizer ist für einen 24/7-Betrieb konzipiert – unter Berücksichtigung geplanter Wartungsarbeiten, nicht unplanter Stillstände.
Einige praktische Hinweise:
Der Heizer passt zu den meisten FO-WLP-Heizeplattformen – doch die Integration hängt von den mechanischen Anforderungen, dem Vakuumgreifer sowie der Anordnung der Abgase ab. Passen Sie Spannung und Anschlusstyp an Ihre Ausrüstung an. Nach dem Austausch der Lampe gibt es eine kurze Aufwärmezeit – planen Sie diese Zeit in die Wartungsarbeiten ein, damit die Temperatureinstellungen weiterhin innerhalb der Vorgaben bleiben.