حفظ تمیزی اتاقهای کلاس ۱۰۰
وقتی که در محیط کلاس ۱۰۰، ویفرها را گرم میکنید، هیچ جایی برای اشتباه وجود ندارد. حتی یک ذره کوچک از آلودگی یا مقدار کمی گاز، میتواند باعث خراب شدن کل محموله شود. اکثر عناصر گرمایشی استاندارد، برای این منظور مناسب نیستند؛ زیرا در لحظاتی که نیاز به پایداری آنها وجود دارد، ذرات ریزی را آزاد میکنند.
به همین دلیل، ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای لامپهای مادون قرمز خود استفاده میکنیم. این کار باعث میشود که دیگر نیازی به نگرانی درباره آلودگیها نباشد.
چرا کوارتز مهم است؟
ما از سیلیس مذاب استفاده میکنیم؛ موادی که تقریباً فاقد هرگونه ناخالصی هستند. چرا؟ زیرا در دماهای بالا، مواد ارزانقیمت شروع به واکنش با هوا میکنند. این پوششهای کوارتزی مانند یک درب دربسته عمل میکنند و اجازه نمیدهند که گازهای مضر وارد فضای داخلی شوند. در نتیجه، منبع نوری پایداری دارد و مانع از کاهش کیفیت هوا میشود.
تنظیم دما
این لامپها از تشعشعات موج کوتاه استفاده میکنند؛ بنابراین انرژی مستقیماً به سطح ویفر تابیده میشود. این کار سریع است؛ تقریباً بلافاصله. میتوانید دمای مورد نظر خود را به سرعت دستیابی کنید. البته، چیدمان پوششهای کوارتزی بسیار مهم است؛ در غیر این صورت، ریسک گرم شدن بیش از حد لامپ وجود دارد.
نحوه نصب
ما از کانکتورهای استاندارد استفاده کردهایم؛ بنابراین این لامپها میتوانند به راحتی در سیستم فعلی شما نصب شوند. همچنین، سطح کوارتز را به صورت آینهای صیقل دادهایم؛ این کار نه تنها برای ظاهر، بلکه برای جلوگیری از گیر کردن ذرات روی سطح کوارتز نیز ضروری است.
اگر از یک کنترلکننده PID مناسب استفاده کنید، میتوانید گرمای یکنواختی در سراسر ویفر داشته باشید.
هشدار
نکته مهم این است که کوارتز با خلوص بالا، شکننده است. این ماده در برابر شوک حرارتی عملکرد بهتری دارد، اما نمیتواند ضربات شدید را تحمل کند. حتی یک اشتباه کوچک در هنگام نصب میتواند باعث ترک خوردن پوشش کوارتز شود.
همچنین، همیشه از دستکش استفاده کنید؛ روغنهای موجود در پوست شما میتوانند منجر به ایجاد نقاط گرم روی کوارتز شوند، که این امر میتواند باعث خراب شدن زودهنگام لامپ شود.