와이퍼 백 그라인딩 서포트 히터

300mm 웨이퍼 처리 과정에서는 웨이퍼를 얇게 만드는 데 힘을 사용하는 것보다는 열 관리가 더 중요합니다. 만약 지원용 히터의 온도가 변하면, 척이 과열되고 접착제가 약해져서 웨이퍼가 휘어지기 시작합니다. 즉시 치명적인 고장이 발생하는 것은 아니며, 나중에 웨이퍼의...