공기를 가열하는 것을 그만두세요: 더 스마트한 클린룸 운영 방식 반도체 공장에서 탄소 중립 목표를 달성하려면, 더 이상 구식의 대류식 오븐에 의존해서는 안 됩니다. 생각해보세요. 그런 오븐들은 웨이퍼를 적절한 온도로 만들기 위해 공간 전체, 즉 공기와 벽 등 모든 것...

생산 라인에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 중요한 공정 단계입니다. 온도를 1°C만 변경해도 CD의 위치가 변하거나, 측벽 각도에 변화가 생기며, 결함의 밀도도 증가합니다. 오븐 내부의 석영 히터는 일관된 열을 공급해야 하며,...