Warum wir auf die Infrarotbehandlung für das Trocknen von Halbleitern umsteigen
Seien wir ehrlich: Die alten Konvektionsöfen sind langsam zu Relikten geworden. Aufgrund der neuen Vorschriften bezüglich emissionsfreier Prozesse sowie des Drucks nach verbleifreien Materialien ändert sich die Branche. Viele von uns wechseln daher auf die Infrarotbehandlung – und das aus gutem Grund. Anstatt ein ganzes Zimmer zu erhiten, nur um einige Bauteile zu trocknen, strahlt das Infrarot direkt auf das Substrat ein.
Es geht um Energieeinsparung
Stellen Sie sich vor, wie ein herkömmlicher Ofen funktioniert: Zuerst wird die Luft erhitzt, anschließend die Wände – und erst danach werden die Bauteile erwärmt. Das bedeutet viel verschwendete Energie.
Das Infrarot ist anders. Es nutzt elektromagnetische Strahlung, um die Moleküle sofort in Bewegung zu setzen. Es muss nicht darauf gewartet werden, bis der Raum vorgewärmt ist. Auch wird keine Energie an die Luft um das Bauteil verschwendet. In der Praxis bedeutet das eine Energieeinsparung von 30 % bis 50 %. Das ist wirklich eine große Erleichterung.
Umgang mit verbleifreien Materialien ohne Probleme
Mit verbleifreien Lötstoffen und Klebstoffen zu arbeiten kann stressig sein. Wenn die Temperatur nicht richtig eingestellt wird, besteht die Gefahr, dass die empfindlichen Siliziumbauteile beschädigt werden.
Der Vorteil der Infrarotbehandlung liegt in der Kontrolle. Man kann die Wellenlänge anpassen – kurz oder mittel –, um genau die Stelle zu treffen, die benötigt wird. Dadurch erreicht man schnell eine hohe Temperatur – doch die Ränder der Wafer werden dabei nicht überhitzt. Es handelt sich somit um eine sanftere Methode, um die Arbeit schnell erledigen zu können.
Der Nachteil (denn es gibt immer einen)
Es handelt sich schließlich nicht um einen Zauberstab. Das Infrarot erzeugt viel Hitze in einem sehr kleinen Bereich. Wenn die Transportbänder zu langsam laufen oder die Leistung der Lampen zu hoch ist, können die Bauteile beschädigt werden. Man muss also sorgfältig mit Sensoren und PID-Steuerungen umgehen. Diese müssen schnell genug reagieren, um Fehler vorzubeugen.
Mehr Platz im Reinraum
Der größte Vorteil? Der Platzbedarf. Man kann einen großen, sperrigen Ofen durch einen kompakten Infrarottunnel ersetzen. Plötzlich hat man wieder genug Platz im Reinraum.
Die Wartung ist außerdem einfach. Man muss keine Lecks in den Rohrleitungen suchen oder verstopfte Filter reinigen. Wenn eine Lampe kaputtgeht, muss man sie einfach austauschen. Die Produktion kann weiterlaufen – und man kann pünktlich nach Hause gehen.