Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man Wafern in einem Reinraum der Klasse 100 erwärmt, gibt es keinen Platz für Fehler. Schon eine winzige Staubpartikel oder ein wenig Abgas kann dazu führen, dass die ganze Charge ruiniert wird. Die meisten herkömmlichen Heizelemente eignen sich nicht dafür – sie geben bereits bei normalen Bedingungen mikroskopisch kleine Partikel ab.
Deshalb verwenden wir für unsere Infrarotlampen hochreinen synthetischen Quarz. Dadurch entfällt diese Sorge.
Warum der Quarz wichtig ist
Wir verwenden geschmolzenes Silizium mit fast keinerlei Verunreinigungen. Warum? Denn bei hohen Temperaturen beginnen billige Materialien mit der Luft zu reagieren. Diese Quarzkapseln fungieren wie eine perfekte Abdichtung und halten den Halogenkreislauf dort, wo er hingehört. So erhält man eine konstante Lichtquelle, die die Luftqualität nicht beeinträchtigt. Einfach so.
Die richtige Wärmeabgabe
Diese Lampen nutzen Kurzwelleneinstrahlung. Anstatt Zeit damit zu verschwenden, die gesamte Luft um die Wafer zu erwärmen, trifft die Energie direkt auf die Oberfläche der Wafer. Das geht schnell – wirklich sehr schnell. Man erreicht die gewünschten Temperaturen fast sofort. Nur eine Warnung: Die Leistungsdichte ist sehr hoch. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlsysteme dem standhalten – andernfalls besteht die Gefahr, dass die Lampen bei längerer Nutzung überhitzen.
Einrichtung
Wir haben die Anschlüsse standardisiert, sodass sie problemlos in Ihre bestehende Anlage eingefügt werden können. Zudem polieren wir den Quarz bis zu einem spiegelglatten Zustand. Das dient nicht nur dem ästhetischen Aspekt – dadurch bleiben keine Partikel an der Oberfläche hängen. Verwenden Sie dazu einen guten PID-Controller, dann erhalten Sie eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf der gesamten Waferoberfläche.
Eine Warnung
Hochreiner Quarz ist bruchempfindlich. Er kann Hitze besser vertragen als normales Glas – aber er kann trotzdem beschädigt werden. Eine falsche Handhabung während der Installation kann dazu führen, dass die Kapsel zerbricht. Tragen Sie außerdem immer Handschuhe – die Öle von der Haut können Hotspots auf dem Glas erzeugen, was dazu führt, dass die Lampe schneller kaputtgeht, als eigentlich nötig wäre.