Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Reflektoren einfach besser funktionieren
Beim Erhitzen von Siliziumwafern spielt jede einzige Wattzahl eine wichtige Rolle. Doch das Problem ist folgendes: Standard-IR-Lampen sind unpräzise – sie geben die Energie überallhin ab. Anstatt auf das Substrat zu wirken, heizt ein großer Teil der Energie einfach den Gehäusekörper der Maschine auf. Das ist eine Verschwendung von Strom und Zeit.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir hochreine Goldbeschichtungen in die Reflektoren einsetzten. Dadurch wird die Energie gezielt dorthin geleitet, wo sie hingehört – direkt nach unten.
Warum Gold?
Es geht dabei um die Physik des Infrarotspektrums. Viele Menschen verwenden Aluminiumreflektoren, weil sie gängig sind. Doch Aluminium verliert im Laufe der Zeit an Effizienz, wenn es heiß wird. Gold hingegen bleibt über einen viel breiteren Bereich des Infrarotspektrums hochreflektierend. Dadurch kann die Strahlung in einen eng fokussierten Strahl umgewandelt werden. Auf der Oberfläche der Wafer entsteht somit ein stärkerer Wärmezufluss – doch tatsächlich wird keine mehr Energie aus der Lampe gewonnen. Es ist einfach intelligenter.
Ausgleich der Wärme
Das Ziel ist es, die Strahlung „effektiv“ zu nutzen. Wir justieren den Fokuspunkt des Goldreflektors so, dass die Energie gleichmäßig auf die Wafer auftrifft. Wenn das nicht richtig gemacht wird, entstehen Hotspots. Hotspots sind ein Albtraum – sie verformen die Wafer oder beeinträchtigen die Aktivierung der Dotanten.
Aber Achtung: Diese Art der Fokussierung erzeugt intensive lokale Wärme. Man muss sicherstellen, dass das Kühlsystem damit umgehen kann. Wenn die reflektierte Wärme keinen Abfluss findet, verbrennen die Lampenfilamente viel schneller, als eigentlich nötig wäre.
In die Praxis umgesetzt
Das Beste daran: Diese Geräte können problemlos als Ersatz für Ihre herkömmlichen IR-Lampen verwendet werden. Wir haben die Abmessungen so gestaltet, dass sie problemlos in Ihre vorhandenen Vakuum- oder Atmosphärenkammern passen.
Sobald Sie auf Gold umsteigen, werden Sie feststellen, dass die Zeit bis zur Erreichung der gewünschten Temperatur verkürzt wird. Zudem können Ihre Stromversorgungen endlich entspannen – schließlich müssen die Lampen nicht mehr überlastet werden, um den Verlust an Energie auszugleichen.