Verhindern Sie, dass Ihre IR-Lampen Ihre Wafer zerstören!
In einer Hochlast-Semikondaktorenanlage ist ein defekter IR-Lampenkegel nicht nur ein Problem bezüglich der Betriebsunterbrechungen – es handelt sich dabei um ein echtes Albtraum-Szenario. Wenn eine Quarztube platzt, fallen Glassplitter sowie Wolframfilamente direkt auf die Wafer. Das ist chaotisch und kostspielig. Deshalb konstruieren wir unsere Heizsysteme so, dass dieses Risiko bereits im Voraus vermieden wird.
Der Schlüssel liegt im Reflektor.
Wir verwenden hochreines Aluminium. Dieses Material erfüllt gleich mehrere Funktionen: Zunächst lenkt es das IR-Licht wieder zurück auf die Wafer – dadurch bleiben die Energiekosten niedrig. Doch noch wichtiger ist, dass der Reflektor eine Art Schutzschicht darstellt. Durch die präzise Fertigung der Aluminiumhülle bleibt der größte Teil der Schäden innerhalb dieser Hülle gefangen, falls die Tube doch kaputtgeht. So entsteht ein besseres Wärmeprofil und somit auch mehr Sicherheit.
Umgang mit der Hitze
Hochleistungs-Lampen werden extrem heiß. Wenn die Kühlung nicht ausreicht, wird die Quarztube durch thermische Belastungen beschädigt. Um diesem Problem entgegenzuwirken, verwenden wir verstärktes Quarzglas, das diesen Belastungen standhalten kann. Wir legen außerdem großen Wert auf die Montagetoleranzen. Selbst kleinste Berührungen zwischen der Tube und dem Reflektor können zu Hotspots führen – und Hotspots sind im Grunde eine Einladung dazu, dass die Lampe frühzeitig versagt.
Seien wir ehrlich: Nichts ist zu 100 % fehlerfrei.
Selbst mit einem guten Reflektor benötigen Sie trotzdem eine gründliche Reinigungsprozedur in der Sauberkeitsschleuse. Sie müssen stets darauf achten, wie viele Stunden die Lampen bereits betrieben wurden. Mit der Zeit wird der Filament immer dünner – dann steigt das Risiko eines Versagens stark an. Wir empfehlen, die Lampen alle 2.000 bis 5.000 Stunden auszutauschen – je nach Leistung der Lampe. Es ist viel einfacher, einen schnellen Austausch vorzunehmen, als mit einem katastrophalen Versagen mitten in der Produktion umzugehen.
Achten Sie außerdem darauf, dass Ihre Sicherungen in Ordnung sind. Spannungsspitzen können dazu führen, dass die Lampe sofort kaputtgeht – und niemand hat Zeit für so etwas.