팹 램프용 석영 유리 보호장치
웨이퍼 제조 공정에서 에너지를 낭비하지 마세요.
솔직히 말해서, 웨이퍼 제조 공정에서 에너지가 낭비되는 것은 본질적으로 설계상의 결함입니다. 고출력 램프를 사용하여 웨이퍼를 가열할 때, 그 열 에너지 중 상당 부분이 그냥 흩어져 버립니다. 이 열 에너지는 필요한 곳이...
팹 오븐용 석영 가열관
생산 라인에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 중요한 공정 단계입니다. 온도를 1°C만 변경해도 CD의 위치가 변하거나, 측벽 각도에 변화가 생기며, 결함의 밀도도 증가합니다. 오븐 내부의 석영 히터는 일관된 열을 공급해야 하며,...