如何防止晶圆加工工具出现故障
说实话，在这个行业里，哪怕只有一处小小的电弧现象，就足以毁掉整批硅制品。那简直是一场噩梦，没人愿意面对这种情况。由于风险如此之高，我们不会采用“随机抽样”的方式来检测产品——我们不会只检查每十个产品中的一个，然后寄希望于运气好点。
从我们的工厂出厂的每一个部件，都会经过100%的耐压测试和绝缘电阻测试。没有例外。
“压力测试”的原理
我们这样做是为了找出那些存在缺陷的部件。我们会让这些部件承受远高于其正常工作电压的电压。为什么呢？因为这样就能发现那些肉眼看不见的微小缺陷，比如陶瓷中的气泡或涂层上的细微裂纹。如果检测到漏电流突然上升，那就说明该部件已经不可用了。这是确保部件在安装到设备中后仍能保持良好绝缘性能的唯一方法。
为何不能偷工减料
在高空或高温环境下，情况会变得很复杂。污染物可能会移动，某个部件在试验台上看起来没问题，但一旦温度上升到500摄氏度，它就可能变成隐患。因此，我们必须格外重视绝缘电阻的问题。如果材料的性能下降，或者绝缘电阻低于标准值，那我们就会直接报废该部件。总比让短路毁掉PLC或电源要好得多。
平衡之道
当然，这里也存在一定的权衡。严格的测试确实可以筛选出有缺陷的部件，但如果反复对部件施加高电压，那么对于那些本来就存在问题的部件来说，反而会加速其绝缘性能的恶化。这就像走钢丝一样，需要找到一个合适的平衡点——测试电压要足够高，以便消除缺陷，但又不能过高，以至于在部件到达用户手中之前就让其寿命缩短。
最终，我们得到的就是那些不会引发故障的优质部件。请务必在安装时确保接地线连接牢固。因为，再好的绝缘材料也无法避免因接地不良而导致的传感器数据误差。