MEMS传感器晶圆干燥加热器

在MEMS晶圆干燥过程中减少碳排放 在干燥MEMS传感器晶圆时，我们已不再使用那些老旧、效率低下的对流式烤箱，而是改用红外线加热灯。其目的很简单：让晶圆上的水分更快蒸发，同时减少能源消耗。 如果你曾经在半导体工厂工作过，就会知道，为了烘干一小块硅片，需要耗费大量能量来加热大量空气。这显然是浪费资源...