Maak optimaal gebruik van je lampen voor het drogen van wafers
Laten we eerlijk zijn: energieverlies in een slimme productieruimte is niets anders dan geld verspillen. Wanneer je wafers laat drogen, wil je niet dat het machineframe fungeert als een soort ‘grote verwarmingsapparaat’. Je wilt juist dat de thermische energie rechtstreeks op het substraat terechtkomt.
Daarom is de reflector eigenlijk het belangrijkste onderdeel van het gehele systeem.
Stop met het verspillen van de helft van de warmte
Als je een lamp gebruikt zonder precisereflector, gooi je meer dan 50% van de geproduceerde warmte weg. Dat is zonde.
Wij bouwen deze reflectoren zodat de infrarode straling rechtstreeks op het oppervlak van de wafer wordt gericht. Hierdoor wordt de warmte gelijkmatig over het hele oppervlak verdeeld. Er zijn geen hete plekken, geen vervormd silicium en geen oneffenheden tijdens het drogenproces. Het werkt gewoon perfect.
De technologie
Afhankelijk van de golflengte die je gebruikt, kiezen we ofwel voor aluminium van hoge kwaliteit of voor substructuren die bedekt zijn met goud. Goud is ideaal voor lange golflengten, terwijl gepolijst aluminium meestal wordt gebruikt voor kortegolflange straling.
Als je een Industry 4.0-opstelling hebt, kunnen deze lampen gemakkelijk worden geïntegreerd in modulaire behuizingen. Dit maakt het mogelijk om ze gemakkelijk te vervangen wanneer je je productielijn uitbreidt. Bovendien kun je deze systemen rechtstreeks aansluiten op je PLC. In plaats van te gokken op basis van de stroomverbruikscijfers, kun je digitale sensoren gebruiken om precies te zien hoeveel warmte er daadwerkelijk op de wafer terechtkomt.
De nadelen (en hoe je ermee omgaat)
Het probleem is dat hoogreflecterende oppervlakken gevoelig zijn voor vuil. Eén beetje stof of chemische dampen in de productieruimte kan al snel leiden tot een daling van de efficiëntie. Je moet dus goed opletten met het schoonhouden van deze oppervlakken, of gebruik een afgesloten behuizing om ze schoon te houden. Als het oppervlak vies wordt, zullen de cyclustijden langer duren. Waarom? Omdat de lamp dan harder moet werken om de verloren energie te compenseren. Dit legt veel onnodige druk op je voedingsnetwerk en versnelt de slijtage van de lampen. Houd ze schoon, dan blijven ze goed functioneren.