진공에도 사용 가능한 적외선 히터

왜 진공 상태에서의 적외선 가열이 생산 공정에 적합한지 진공 상태에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 것은 매우 어려운 일입니다. 아주 작은 오염도라도 있으면 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 그래서 우리는 구식의 저항식 난방 장치를 버리고, 진공 환경에 적합한 적외선 가열...